【摘 要】
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为满足高冲击时加速度测量的要求,研制了一种基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器.内部敏感元件采用对称的十字梁与平膜结合结构,可以有效地降低偏轴影响及横向灵敏度.使用A
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为满足高冲击时加速度测量的要求,研制了一种基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器.内部敏感元件采用对称的十字梁与平膜结合结构,可以有效地降低偏轴影响及横向灵敏度.使用ANSYS软件对芯片结构进行静态分析与模态分析,结果表明其在满量程情况下能安全工作.利用加速度冲击台进行测试,结果表明该加速度传感器可以准确地测量加速度信号,其灵敏度达到1.08 V/g,线性度达到1.163％.该传感器具有体积小,线性度好,精度高的优点.
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