用全息光栅测量平行度

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一、前言一般使用的光学干涉法,按波的分裂方法可分振幅分裂法和波面分裂法两类。前者目前已广泛用于干涉仪,后者则因大多不能有效地利用波面,存在使光的强度下降的缺点,因此使用范围也局限于多狭缝干涉法、洛埃镜、多棱 I. INTRODUCTION The optical interferometry generally used in the preamble, according to the wave splitting method can be divided into two types of amplitude splitting and wave splitting. The former has been widely used in interferometers, the latter because most of them can not effectively use the wave, there is the disadvantage of reducing the intensity of light, so the scope of use is also limited to the multi-slit interferometry,
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