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The Effect of Inductively Coupled Discharge on Capacitively Coupled Nitrogen-Hydrogen Plasma
【摘 要】
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本文通过对荣华二采区10
【机 构】
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School of Physics Science and Technology, Jiangsu Key Laboratory of Thin Films,Soochow University, S
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2014年4期
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