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多晶金刚石膜的光学性质与工艺参数密切相关.采用一较为完备的金刚石透过率模型,研究了一系列金刚石膜在中远红外区的光学性质.并得出了不同衬底预处理方法和反应室中甲烷分压对CVD膜的平均透过率、表面粗糙度、非金刚石相含量、各种成分的吸收系数等光学性质的影响,计算结果与实测结果一致.
化学气相沉积金刚石膜的光学性质
【摘 要】
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多晶金刚石膜的光学性质与工艺参数密切相关.采用一较为完备的金刚石透过率模型,研究了一系列金刚石膜在中远红外区的光学性质.并得出了不同衬底预处理方法和反应室中甲烷分
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国空间技术研究院兰州物理研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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兰州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2003年2期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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