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采用椰壳为原料,水蒸气为活化介质制备活性炭,用于多晶硅生产尾气回收净化。检测丁烷吸附性能间接反映氯硅烷吸附特性。结果发现,微孔率与丁烷吸附性能没有明显关系,活性炭孔径均匀分布利于丁烷吸附,丁烷工作容量最佳吸附孔径为1.1~5.76nm。比表面积和碘值对丁烷吸附有重要影响,丁烷工作容量和活性变化趋势基本相同。