【摘 要】
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使用三维电磁场模拟的方法对不同硅衬底结构螺旋电感进行了模拟和分析．通过改变衬底的电导率、隔离层的厚度以及隔离层的材料、衬底引入硅锗合金层等模拟，分析了电感性能的变化
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室
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使用三维电磁场模拟的方法对不同硅衬底结构螺旋电感进行了模拟和分析．通过改变衬底的电导率、隔离层的厚度以及隔离层的材料、衬底引入硅锗合金层等模拟，分析了电感性能的变化．结果表明随着电导率的减小，电感的性能会增强，但改善的幅度会逐渐减小．厚的SiO2隔离层有利于减小衬底损耗，但是会给工艺增加难度．采用低k材料作为隔离层是改善电感性能的一种比较理想的方法．
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