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介绍了MEMS技术的总体概况;阐述了MEMS加工技术的主要内容、特点和发展趋势:说明了MEMS加工技术的应用方向;提出了发展我国MEMS技术的一些建议。
划时代的MEMS加工技术
【摘 要】
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介绍了MEMS技术的总体概况;阐述了MEMS加工技术的主要内容、特点和发展趋势:说明了MEMS加工技术的应用方向;提出了发展我国MEMS技术的一些建议。
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
：
国防制造技术
【发表日期】
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2009年05期
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