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研究了导电相、玻璃相和添加剂对多层布线表面电阻的方阻，温度系数和稳定性的影响，分析了介质层与电阻层之间的相互作用而导致电阻阻值变化的机理。结果表明，选择与介质层相匹配的钌酸铅导电相和铅硅铝玻璃相做功能相，可制得性能良好的电阻浆料。添加剂对提高电阻性能有很大影响。
多层布线介质表面用中高阻电阻浆料的研制
【摘 要】
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研究了导电相、玻璃相和添加剂对多层布线表面电阻的方阻，温度系数和稳定性的影响，分析了介质层与电阻层之间的相互作用而导致电阻阻值变化的机理。结果表明，选择与介质层相匹配
【机 构】
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电子工业部４３研究所
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1996年5期
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