【摘 要】
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为了达到Ta的高去除速率,通过实验改变碱性阻挡层抛光液中各组分的体积分数,研究各组分变化对阻挡层材料Cu和Ta抛光速率的影响.碱性阻挡层抛光液中,首先确定磨料及去离子水的
【机 构】
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河北工业大学微电子研究所,天津300130;河北大学静电研究所,河北保定071002
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为了达到Ta的高去除速率,通过实验改变碱性阻挡层抛光液中各组分的体积分数,研究各组分变化对阻挡层材料Cu和Ta抛光速率的影响.碱性阻挡层抛光液中,首先确定磨料及去离子水的比例,然后再改变盐酸胍和螯合剂等组分体积分数,得到Cu和Ta抛光速率的变化规律,便于选取此条件下阻挡层抛光液最佳配比.通过各种测试手段表征抛光液对12英寸(1英寸=2.54 cm)布线片碟形坑修正能力及铜布线表面粗糙度的影响.结果表明,Ta和Cu材料的抛光速率随各组分变化规律明显,当磨料体积分数为30％、盐酸胍体积分数为3％以及螯合剂体积分数为1％时,可以达到Ta和Cu的最大抛光速率差.优化后的新型阻挡层抛光液1 min内可以实现碟形坑的有效修正及粗糙度的明显降低.
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