Si电光调制器与GeSi/Si异质结探测器的集成

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提出了一种调制器与探测器集成的方案。它是在<100>n^+-Si衬底上用外延、两次扩散等常规工艺先制作Si脊表波导光调制器,接着在调制器光输出端的波导上用分子束外延和反应离子刻蚀制作p-Ge0.6Si0.4/p-Si探测器。
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