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概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的光栅纳米测量系统、基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理,介绍了纳米测量精度光栅传感器研究的关键技术。
纳米测量精度光栅传感器研究综述
【摘 要】
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概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的光栅纳米测量系统、基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理,介绍了纳米测量精度光栅传感器研究的关键技术。
【机 构】
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浙江大学宁波理工学院,合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽大学测量与控制工程系
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2006年09期
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