用于SOI脊形波导的模式匹配器的设计

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引入4种不同形状的模式匹配器,提高了SOI(Silicon-On-Insulator)脊形波导和单模光纤(SMF)的耦合效率.用三维束传播法(BPM)和重叠积分方法对这4种模式匹配器进行了结构设计和性能分析.结果表明,这4种模式匹配器对提高耦合效率的能力几乎相同;经过结构优化后,模式匹配器的耦合效率约提高了0.5 dB;当模式匹配器长度大于800 μm时,耦合效率几乎不随长度变化,因此模式匹配器长度取值应大于800 μm.最后分析了封装对准中的对准精度要求.若要求附加损耗小于0.3 dB,对准偏差须小于1
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