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影响纳米压痕试验结果的因素很多,导致分别计算A类和B类不确定度十分困难。该文采取实验室间比对的方法,通过对熔融石英样品进行纳米压痕试验,得出压痕硬度和压痕模量的重复性限r和复现性限R。在r和R的基础上推导出纳米压痕硬度和模量扩展不确定度的近似计算公式,从而大大简化了纳米压痕试验测量不确定度的评定。不确定度评定结果表明纳米压痕试验测量不确定度较大;试验次数超过5次后,其对扩展不确定度的影响不大。