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对基于超声喷雾热分解工艺制备400min×400mm大面积太阳电池TCO膜和制备大面积SnO2：F薄膜工艺作了研究，包括温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响。并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池，其效率达到了5．96％。
超声喷雾法制备大面积太阳电池TCO膜及其工艺研究
【摘 要】
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对基于超声喷雾热分解工艺制备400min×400mm大面积太阳电池TCO膜和制备大面积SnO2：F薄膜工艺作了研究，包括温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜
【机 构】
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南开大学光电子研究所
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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2007年11期
【基金项目】
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天津市重点基金（0TJCZDJC013001）
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