激光烧蚀速率精密调节的新技术

来源 :四川大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yanfeng_wang
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提出了一种精密调节激光烧蚀速率的方法——双光束技术,得到了比单光束技术约高两个数量级的调节精度。对这种双光束调节的机制进行了解释。
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