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期刊论文
移相器微波传输薄膜的研制
移相器微波传输薄膜的研制
来源 :扬州大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:lujun3
【摘 要】
:
对移相器微波传输薄膜的理论设计进行了详细的分析,优化了膜系的制备工艺参数,并对薄膜样品进行了性能测试和对比分析. 结果表明: Cu-Ti微波传输薄膜的性能优良.
【作 者】
:
陈荣发
赵毅红
柏乃勇
【机 构】
:
扬州大学工学院机械工程系
【出 处】
:
扬州大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2002年4期
【关键词】
:
移相器
微波传输薄膜
Cu-Ti薄膜
制备工艺
显微结构
磁控溅射
phase shifter microwaveconduct CuTi films
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对移相器微波传输薄膜的理论设计进行了详细的分析,优化了膜系的制备工艺参数,并对薄膜样品进行了性能测试和对比分析. 结果表明: Cu-Ti微波传输薄膜的性能优良.
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