源／漏离子注入诱生的点缺陷横向扩散所引起的逆短沟效应

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wolfzz88

【摘要】

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源／漏离子注入诱生的点缺陷横向扩散所引起的逆短沟效应＝Ｒｅｖｅｒｓｅｓｈｏｒｔ－ｃｈａｎｎｅｌｅｆｆｅｃｔｄｕｅｔｏｌａｔｅｒａｌｄｉｆｆｕｓｉｏｎｏｆｐｏｉｎｔ－ｄｅｆｅｃｔｉｎｄｕｃｅｄｂｙｓｏｕｒｃｅ／ｄｒａｉｎｉｏｎｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎ［... Reverseshort-channeleffectduetolateraldiffusionofpoint-defectinducedbysource / drainionimplantation [...]

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

短沟效应横向扩散离子注入点缺陷阈值电压漏区器件模拟掺杂剂物理模型横向分布

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