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期刊论文
离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射性能研究
离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射性能研究
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:weiqiwin
【摘 要】
:
利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面沉积铪膜,采用模拟二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba、BaO蒸发在镀铪和纯钼栅极表面的电子发射性能.实验结果表明,镀铪栅极抑制
【作 者】
:
蒋军
江炳尧
郑志宏
任琮欣
冯涛
王曦
柳襄怀
邹世昌
【机 构】
:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
2005年11期
【关键词】
:
抑制电子发射
铪
离子束辅助沉积
钼栅极
anti-emission
hafnium
ion beam assisted deposition
molyb
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利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面沉积铪膜,采用模拟二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba、BaO蒸发在镀铪和纯钼栅极表面的电子发射性能.实验结果表明,镀铪栅极抑制电子发射性能较好,并初步探讨了离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射的机理.
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