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1概要随着器件心寸不断小型化及器件特征不断复杂化,对器件的尺寸,特征,几何学和生质的测量就成了主要的技术难题.
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【摘 要】
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1概要随着器件心寸不断小型化及器件特征不断复杂化,对器件的尺寸,特征,几何学和生质的测量就成了主要的技术难题.
【机 构】
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北京市理化分析测试中心北京100089
【出 处】
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现代科学仪器
【发表日期】
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2004年2期
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