【摘 要】
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本文利用磁控溅射的方法生长不同Cr插层厚度的Pd/Cr/Co多层膜,并利用椭偏仪对多层膜的光学常数进行测量。得到了入射光波长在250nm-850nm范围内多层膜的折射率、反射率、吸收
【机 构】
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贵州师范大学 物理与电子科学学院,
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本文利用磁控溅射的方法生长不同Cr插层厚度的Pd/Cr/Co多层膜,并利用椭偏仪对多层膜的光学常数进行测量。得到了入射光波长在250nm-850nm范围内多层膜的折射率、反射率、吸收系数以及复介电常数的曲线,在此数据的基础上分析了Cr插层厚度对多层膜光学参数的影响。
In this paper, magnetron sputtering was used to grow Pd / Cr / Co multilayers with different Cr intercalation thicknesses. The optical constants of multilayers were measured by ellipsometry. The curves of refractive index, reflectance, absorption coefficient and complex permittivity of multilayer films with wavelength of incident light in the range of 250nm-850nm were obtained. Based on these data, the influence of Cr intercalation thickness on the optical parameters influences.
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