原料对MOD法制铁电薄膜结构及性能的影响

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分别以硝酸镧和丁酸镧为原料,采用金属有机物热分解法合成了两种钛酸镧铜(PLT)先体溶液,并对所制备的PLT薄进行了性能比较。结果表明:以丁酸镧为原料合成的PLT先体溶液稳定性好,不易水解,其薄膜介电频谱特性好,直流电阻率高,矫顽场强E和剩余极化强度P均高于以硝酸镧为原料所制备的PLT薄膜。
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