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分别以硝酸镧和丁酸镧为原料，采用金属有机物热分解法合成了两种钛酸镧铜（ＰＬＴ）先体溶液，并对所制备的ＰＬＴ薄进行了性能比较。结果表明：以丁酸镧为原料合成的ＰＬＴ先体溶液稳定性好，不易水解，其薄膜介电频谱特性好，直流电阻率高，矫顽场强Ｅ和剩余极化强度Ｐ均高于以硝酸镧为原料所制备的ＰＬＴ薄膜。
原料对MOD法制铁电薄膜结构及性能的影响
【摘 要】
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分别以硝酸镧和丁酸镧为原料，采用金属有机物热分解法合成了两种钛酸镧铜（ＰＬＴ）先体溶液，并对所制备的ＰＬＴ薄进行了性能比较。结果表明：以丁酸镧为原料合成的ＰＬＴ先体溶液稳定性好，不易水解，其薄
【机 构】
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西安交通大学电子材料研究室
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1996年4期
【基金项目】
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863计划资助
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