【摘 要】
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四种有机硅单体,即乙烯基三甲基硅烷(VTMS)、乙烯基甲基二乙基硅烷(VMDES)、八甲基环四硅氧烷(D_4)和六甲基二硅氧烷(M_2),在13.56MHz钟罩式等离子体发生器中,分别进行等离子
【机 构】
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中国科学院化学研究所,中国科学院化学研究所
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四种有机硅单体,即乙烯基三甲基硅烷(VTMS)、乙烯基甲基二乙基硅烷(VMDES)、八甲基环四硅氧烷(D_4)和六甲基二硅氧烷(M_2),在13.56MHz钟罩式等离子体发生器中,分别进行等离子体聚合,聚合物沉积在多孔聚丙烯底膜celgard 3401表面。在放电功率50W,体系压力12—30Pa,反应时间15—60min时,形成具有氧氮选择透过功能的有机硅等离子体聚合物复含膜。其氧气透过速率Jo_2是12.7—5.7×10~(-66)Cm~3(STP)/cm~2·s:cmHg,氧氮分
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