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美国SensArray公司在日前展出了用于测量生产线温度的晶圆状传感器底板。可检测晶圆处理工序用制造设备内部的设定值与实际温度的差值及温度波动等情况。据称还可用于液浸曝光设备的温度管理。
美国SensArray展出聚四氟乙烯包覆温度传感器底板
【摘 要】
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美国SensArray公司在日前展出了用于测量生产线温度的晶圆状传感器底板。可检测晶圆处理工序用制造设备内部的设定值与实际温度的差值及温度波动等情况。据称还可用于液浸曝
【出 处】
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有机硅氟资讯
【发表日期】
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2006年7期
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