【摘 要】
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随着航天遥感领域对分辨率、高速传输、低功耗方面需求的提高,基于电荷累加的TDICMOS探测器应运而生。该探测器无论在工艺上还是探测器结构上均与TDICCD和传统数字累加的CMOS
【基金项目】
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国家重点研发计划地球观测与导航重点专项(2016YFB0500802).
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随着航天遥感领域对分辨率、高速传输、低功耗方面需求的提高,基于电荷累加的TDICMOS探测器应运而生。该探测器无论在工艺上还是探测器结构上均与TDICCD和传统数字累加的CMOS器件有着本质的不同。因此,许多关于探测器性能参数的测试方法无法适用于电荷累加的TDICMOS。本文基于电荷累加TDICMOS的自身特性,先后提出了关于电荷-DN转换因子、满阱电荷、电荷转移效率、读出噪声等参数的新测试方法,同时搭建TDICMOS测试系统进行实验验证。实验证明了上述测试方法的正确性和工程可实现性,为今后TDICMOS
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