Preparation of Indium Tin Oxide films deposited by reactive evaporation at different substrate-tempe

来源 :光电子快报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：APIer

【摘要】

：

铟锡氧化物电影被 In-Sn 合金的反应蒸发与 1.3 脳的一个氧压力在玻璃底层上在不同底层温度准备了 10 ? 1 Pa 和免职 10 评价 ? 2 nm/s。获得的最好的 ITO 电影有 4.35 脳的

【作者】

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LI Lin-na XUE Jun-ming ZHAO Yi

【机构】

：

InstituteofOptoelectronicThinFilmDevicesandTechniqueofNankaiUniversity,SchoolofMaterialScience＆Engin

【出处】

：

光电子快报：英文版

【发表日期】

：

2007年6期

【关键词】

：

薄膜生长基片电抗蒸发温度 CLC numbers O484.1

【基金项目】

：

This work is supported by Project of Key Science and Technology of Tianjin （No.06YFGZGX02100）, Projects of National Key Fundamental Research Development Plan of China （Nos. 2006CB202602, 2006CB202603）

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铟锡氧化物电影被 In-Sn 合金的反应蒸发与 1.3 脳的一个氧压力在玻璃底层上在不同底层温度准备了 10 ? 1 Pa 和免职 10 评价 ? 2 nm/s。获得的最好的 ITO 电影有 4.35 脳的一个电的抵抗力 10 ? 4 惟路 c m， 4.02 脳的搬运人集中 1020 厘米 ? 3，并且 67.5 cm2v 的霍尔活动性 ? 1s ? 1。获得的电影的结构、光、电的性质上的底层温度的影响被调查了。CLC 数字 O484.1 这个工作被天津(No.06YFGZGX02100 ) 的关键科技

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