【摘 要】
：
MEMS低真空封装技术能为MEMS器件的可动部分提供低阻尼环境,降低能量损耗,有效提高器件的能量转换效率,具有重要的研究意义和应用前景,是MEMS技术的研究热点和难点。为了进一
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十四研究所,重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆大学:屺电工程学院
【基金项目】
：
国家863计划项目(2015AA042603);中央高校基本科研业务费专项资金项目(106112015CDJXY120002)
论文部分内容阅读
MEMS低真空封装技术能为MEMS器件的可动部分提供低阻尼环境,降低能量损耗,有效提高器件的能量转换效率,具有重要的研究意义和应用前景,是MEMS技术的研究热点和难点。为了进一步提高MEMS压电振动能量收集器的输出性能,提出了圆片级低真空封装的共质量块MEMS压电悬臂梁阵列振动能量收集器新结构,通过有限元分析方法对器件结构参数进行了优化设计,在优化结构参数下仿真器件输出性能:在610 Hz、2 gn加速度下,器件的输出电压为8.88 V,输出功率为1220μW,能满足实际应用需求;根据器件结构设计了加工工艺流程,对低真空封装结构的实现和封装工艺探索具有重要意义。
其他文献
目的：探讨精神病患者服用氯氮致肠梗阻术后护理效果。方法我院近几年服用氯氮平致肠梗阻患者46例为研究对象，术后分成两组，对照组（23例）采用常规护理，观察组（23例）采用舒适性护理。结
所说的日常生活世界，指的是在每个人经常性的生活和工作中受逐渐形成的既定的生活方式、行为方式和思维方式所支配的自在自发世界，是人们习以为常、熟视无睹的由衣食住行、饮食
公司依托科研单位人才与技术优势,以高新技术产品开发为突破口,利用国家林产化学工程技术研究中心工程化开发能力和中国林科院(南京)科技工业园产业化支撑条件,面向市场需求,
刑事诉讼程序从启动到结束，是一个连续的、前后互相影响的逻辑过程。以审判为中心，可以将刑事诉讼程序划分为审前程序和审判程序两大部分。审前程序是整个诉讼程序的基础，是审判
音乐教育在幼儿成长教育阶段中起到重要作用,不仅能够陶冶幼儿的情操,丰富幼儿的想象力,还可培养幼儿创造力,促进幼儿身心全方位发展。文章主要阐述了幼儿音乐教育的重要性,
高层建筑工程数量逐年递增,此类建筑具有高度高、结构多样化及施工周期较长的特点,在各类因素综合影响下在施工过程中可能会发生一些安全事件,影响施工质量和进度,为了规避此
【正】2006年,湖北省城镇新增就业71万人,这是实施积极就业政策以来首次突破70万人;下岗失业人员再就业47.8万人,其中,困难人员再就业