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本文阐述了用β反散射测量薄膜厚度的原理和方法,并分析了其测量范围。理论分析及实验结果表明反射式β测厚公式与透射式β测厚公式类似,因此一台主机可适用于上述两类探头。文中还介绍了轻便型β测厚仪的结构。
轻便型β测厚仪的原理及结构
【摘 要】
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本文阐述了用β反散射测量薄膜厚度的原理和方法,并分析了其测量范围。理论分析及实验结果表明反射式β测厚公式与透射式β测厚公式类似,因此一台主机可适用于上述两类探头。
【机 构】
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浙江丝绸工学院丝绸系
【出 处】
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浙江丝绸工学院学报
【发表日期】
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1991年3期
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