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基于溅射-气体-聚焦(SGA)形成纳米金属颗粒的原理,提出了蒸发-气体-聚集(EGA)共沉积制备Co-Ag颗粒膜的新方法,并利用该方法制备了系列Co-Ag颗粒膜样品,TEM/ED分析表明;制备态样品Co颗粒被Ag原子所包裹,能有效地阻止颗粒的表面氧化与团聚,薄膜无需经过热处理即可形成Co与Ag的相分离,其结构为fcc-Co和fcc-Ag非均匀相多晶共存形态;与Co大块材料相比,薄膜中Co颗粒晶格常