【摘 要】
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为研究不同调制周期对TiN/Ag多层膜结构和性能的影响,采用电弧离子镀技术在Si（100）、不锈钢和高速钢基底表面沉积TiN/Ag多层膜.利用扫描电子显微镜（SEM）、X线衍射仪（XRD）、XP-2台阶
【基金项目】
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天津师范大学开发基金资助项目(52XK1507)
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为研究不同调制周期对TiN/Ag多层膜结构和性能的影响,采用电弧离子镀技术在Si（100）、不锈钢和高速钢基底表面沉积TiN/Ag多层膜.利用扫描电子显微镜（SEM）、X线衍射仪（XRD）、XP-2台阶仪、维氏硬度计和摩擦磨损仪研究不同调制周期对TiN/Ag多层膜表面形貌、微观结构、厚度、显微硬度和摩擦系数的影响,并采用大肠杆菌实验对多层膜的抗菌性能进行研究.结果表明：TiN/Ag多层膜为面心立方结构,膜层由TiN和Ag交替组成,不存在其他杂相,多层膜具有TiN（111）晶面和Ag（111）晶面择优生长;
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