脉冲真空电弧离子镀沉积类金刚石薄膜的结构和力学性能研究

来源 :西安工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：spirit_if

【摘要】

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利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢上制备了类金刚石(DLC)薄膜.通过Raman光谱分析了膜的结构特征,采用摩擦磨损试验机测试了薄膜在不同载荷下的摩擦系数,运用划痕仪研

【作者】

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周顺严一心

【机构】

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西安工业学院薄膜技术与光学检测重点实验室

【出处】

：

西安工业学院学报

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

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类金刚石薄膜脉冲电弧摩擦系数不锈钢

【基金项目】

：

总装‘十五’预研项目(2003KW 09)

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利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢上制备了类金刚石(DLC)薄膜.通过Raman光谱分析了膜的结构特征,采用摩擦磨损试验机测试了薄膜在不同载荷下的摩擦系数,运用划痕仪研究了膜基的结合强度.结果表明:所镀制的薄膜具有典型类金刚石结构特征,膜中ID/IG为1.33;摩擦系数随着载荷的增大而减小,载荷为5 N,转速120 r/min时的摩擦系数为0.02;Ti过渡层的引入显著地提高了膜基结合力.

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