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磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
来源 :太原科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:keaiyuyu66
【摘 要】
:
阐明了磁透镜原理,依照磁透镜理论和几何光学理论,给出一种确定磁透镜位置的方法.并将磁透镜技术应用到直流等离子射流化学沉积金刚石薄膜/类金刚石薄膜装置中,很好地消除了
【作 者】
:
郝晋青
【机 构】
:
太原铁路分局工务分处
【出 处】
:
太原科技
【发表日期】
:
2005年3期
【关键词】
:
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
magnetism lens technique
diamond films (DF)
diamond-like
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阐明了磁透镜原理,依照磁透镜理论和几何光学理论,给出一种确定磁透镜位置的方法.并将磁透镜技术应用到直流等离子射流化学沉积金刚石薄膜/类金刚石薄膜装置中,很好地消除了边界效应,实现高速大面积沉积高纯度金刚石薄膜/类金刚石薄膜的目标.
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