TiN多弧离子镀过渡层的组成及其对涂层结合力的影响

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论述了TiN多弧离子镀涂层过渡层的组成及其形成机制和影响因素。实验结果及分析表明,TiN涂层过渡层由混合及扩散层组成,扩散层包括Ti原子扩散层及N原子扩散层;影响扩散层的主要因素是基体材料的成分和沉积温度;具有N原子扩散层的过渡层将使涂层的结合力明显提高。
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