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原子探针是探测物质超细尺度微观结构的一种有力手段。本文介绍了南京大学固体微结构实验室原子探针的数据处理软件。该套软件包括三种不同形式的数据采集程序,而且通过对数据的统计处理,给出样品的质谱、化学成份分布、成份自相关分析和成份台阶图等实验结果,可以较全面地分析实验数据,方便而迅速地获得测定结果。