【摘 要】
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高纯多晶硅是生产电子材料最为基础且最为重要的一项原料,它的纯度和金属的杂质控制有着极为严格的要求。多晶硅在由还原炉中生产出再至下游的厂家过程中经过了多种复杂工艺
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高纯多晶硅是生产电子材料最为基础且最为重要的一项原料,它的纯度和金属的杂质控制有着极为严格的要求。多晶硅在由还原炉中生产出再至下游的厂家过程中经过了多种复杂工艺的处理,在每一个处理环节当中都存在被二次污染的风险。为了最大程度降低甚至是完全避免产品遭到污染,就需要通过多种工具以及装置进行干预,同时这也就给与多晶硅物品近距离接触的物品(例如产品的运输车辆以及破碎工具等)提出了全新的要求。对高纯多晶硅在进行后处理时所使用的避免因人接触而造成产品污染的洁净用品进行了深入分析,并由相关的洁净工具入手,对其所具有的特
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