【摘 要】
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采用常规的碱性清洗液清洗大偏角半导体级激光器用砷化镓晶片，外延后会出现几万颗缺陷点。清洗完成后的晶片用X射线光电子能谱（XPS）分析，发现其氧化层中氧化镓的相对含量较大，晶片表面氧化物含量相对较少。针对该问题提出了解决办法，即在普通碱性清洗液之后，通过添加酸性清洗液来增加氧化层的厚度，从而调整氧化镓的含量，最终达到减少外延后异常点的目的。
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采用常规的碱性清洗液清洗大偏角半导体级激光器用砷化镓晶片，外延后会出现几万颗缺陷点。清洗完成后的晶片用X射线光电子能谱（XPS）分析，发现其氧化层中氧化镓的相对含量较大，晶片表面氧化物含量相对较少。针对该问题提出了解决办法，即在普通碱性清洗液之后，通过添加酸性清洗液来增加氧化层的厚度，从而调整氧化镓的含量，最终达到减少外延后异常点的目的。
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