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砂轮划片机显微镜自动聚焦系统的设计与分析
砂轮划片机显微镜自动聚焦系统的设计与分析
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:maxmax3
【摘 要】
:
阐述了砂轮划片机显微镜自动聚焦系统的硬件构成和软件设计,在砂轮划片机上开发了一套自动对焦搜索算法,控制CCD、镜头沿光轴移动以实现焦距的自动调节。在软件设计上采用了
【作 者】
:
刘晓斌
涂佃柳
柴斌
单福源
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2011年2期
【关键词】
:
砂轮划片机
自动聚焦
评价函数
搜索策略
灰度方差
灰度剃度
傅立叶变换
Grinding wheel dicing saw
Auto focus
Eval
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阐述了砂轮划片机显微镜自动聚焦系统的硬件构成和软件设计,在砂轮划片机上开发了一套自动对焦搜索算法,控制CCD、镜头沿光轴移动以实现焦距的自动调节。在软件设计上采用了图像处理手段实现镜头聚焦位置的自动搜索和评价函数对图象清晰度的评价,并在砂轮划片机的现场测试中证明了此种方法的可行性。
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