Fabrication of tungsten films by metallorganic chemical vapor deposition

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在铜底层上成长的钨电影被 metallorganic 化学药品蒸汽免职(MOCVD ) 制作。扔的电影的化学纯净,结晶的阶段,代表性的质地,和抵抗力两个都,在退火前后,治疗被 X 光检查调查精力散的光谱学(版本) , X 光检查衍射(XRD ) ,扫描电子显微镜学(SEM ) ,和四点的探查方法。这些电影在 460 点扔了,这被发现 ??? М
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