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类金刚石膜具有硬度高、摩檫系数低、耐腐性强、稳定性高等优良性质,是提高镁合金耐腐性的理想材料.但镁合金与类金刚石膜之间结合力差,本研究通过制备Si/SLNy过渡层成功解决了镁合金与类金刚石膜之间结合力差的问题.将磁控溅射物理气相沉积与化学气相沉积技术相结合,通过改变膜沉积偏压在镁合金表面沉积类金刚石膜.拉曼光谱测试表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构.划痕法测试表明,膜与基体之间的结合力非常大.最后通过失重实验分析了类金刚石膜对镁合金耐腐蚀性的影响.