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采用溶胶-凝胶工艺制备TiO2薄膜。XRD结果表明所制备TiO2薄膜为锐钛矿结构。场发射SEM结果显示TiO2薄膜致密、无裂纹，晶粒尺寸约为60～100nm，单层薄膜厚度约为50nm，且膜厚随着热处理温度的升高而增大。采用椭圆偏振光谱仪测试了薄膜的椭偏参数ψ、△与波长λ的色散关系，选用Cauchy模型对TiO2薄膜的折射率、消光系数和厚度进行了拟合。结果表明当波长大于800nm时，TiO2薄膜的折射率在2．09～2．20左右，消光系数约为0．026。并对不同热处理温度下制备的TiO2薄膜光学常数及厚度进行