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讨论了采用自整定、自寻优功能的８０３２／ＥＵ８１８Ｐ温度调节器对气体异常辉光放电过程的闭环控制。实践证明，此控制策略可以满足各种工艺过程大功率、离子溅射的控制要求。
气体异常辉光放电的自寻优控制系统
【摘 要】
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讨论了采用自整定、自寻优功能的８０３２／ＥＵ８１８Ｐ温度调节器对气体异常辉光放电过程的闭环控制。实践证明，此控制策略可以满足各种工艺过程大功率、离子溅射的控制要求。
【机 构】
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甘肃工业大学电气工程与信息工程系
【出 处】
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甘肃工业大学学报
【发表日期】
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1998年3期
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