基于集成电路虚拟制造系统下的晶体管热现象研究

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首先介绍了纳米级TCAD仿真平台-Sentaurus Workbench(SWB)的功能和特点,在Sentaurus Workbench(SWB)下,进行了小尺寸NPNPX极性晶体管热现象的器件物理特性分析。重点研究了VBE与晶格温度的因变关系,当V。。保持在30V、Ⅵ。达到最大值0.735V时,随器件晶格温度的升高VBE将减小,最后,笔者给出了描述晶体管温变关系的三维曲线。
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