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用真空双源蒸镀法在NaCl和Si单晶衬底上沉积了RE-Fe(RE:Dy、Y)成分调制多层膜,借助透射电子显微镜(TEM)热台及真空退火方式研究了多层膜受热过程中的结构变化规律。受热温度≤200℃时,多层膜各单层的非晶结构不发生显著变化,且成分调制结构不被破坏,因此,可以认为非昌单支在多层膜在200℃以下的结构是稳定的。