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本发明包括一种具有物理气相沉积靶的组件,其通过层与背衬板分开,该层主要由钼和钽中的一种或两种构成。本发明还包括一种组件,该组件包括一至少含铝99.9%的背衬板,该铝背衬板通过具有至少约6000镑/平方英寸(psi)的强度的结合被结合到至少含钼99.9%的靶上。此外,本发明包括一种将含钨的材料结合到含铝的材料上的方法。