【摘 要】
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利用射频磁控溅射技术在熔融石英基片上制备TiO2薄膜,采用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱以及透过谱研究了退火温度和退火气氛对TiO2薄膜的结构、形貌和光学特性
【机 构】
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中国地质大学（北京）矿物岩石材料开发应用国家专业实验室,中国地质大学（北京）材料科学与工程学院
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利用射频磁控溅射技术在熔融石英基片上制备TiO2薄膜,采用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱以及透过谱研究了退火温度和退火气氛对TiO2薄膜的结构、形貌和光学特性的影响.实验结果表明:在大气环境下退火,退火温度越高,薄膜晶化越好,晶粒明显长大,温度高于700℃退火的薄膜,金红石相已明显形成.实验还发现,退火气氛对金红石相的形成是非常重要的,拉曼光谱反应出Ar气氛退火,抑制了金红石晶相的发育,薄膜仍以锐钛矿相为主.Ar气氛退火的薄膜在可见光范围内的透过率比大气退火的要低,并且由透过率曲线推知:金红石的光学带隙约为2.8 eV,比锐钛矿的光学带隙小0.2 eV.
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