【摘 要】
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半导体元件参数随温度变化而产生的温度漂移,将导致倾角传感器本身存在测量偏差,影响倾角测量的准确度。介绍了一种温度补偿方法,对基于加速度原理的差分电容式倾角传感器进
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
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半导体元件参数随温度变化而产生的温度漂移,将导致倾角传感器本身存在测量偏差,影响倾角测量的准确度。介绍了一种温度补偿方法,对基于加速度原理的差分电容式倾角传感器进行了温度补偿。经过试验验证结果表明:这种方法能够实现倾角传感器的温度补偿,在-55~85℃温度范围内可将倾角传感器的温漂降低1个数量级,有效地减少了环境温度对倾角传感器性能的影响。
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