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采用脉冲激光沉积（PLD）法在石英衬底上制备了ZnO薄膜。为研究ZnO薄膜内部主要点缺陷，我们用（002）ZnO单晶与ZnO薄膜作对比，并进行了霍尔测试、X线衍射（XRD）和光学透射谱等基本表征。霍尔测量得到的高的霍尔迁移率及XRD图表明，制备的ZnO薄膜结晶良好，具有沿c轴高度择优取向。同时，ZnO薄膜衍射峰相对于单晶向大角度方向发生了漂移。透射谱表明，ZnO薄膜在可见光区透过率为75％，吸收带边相对于单晶发生蓝移。各种表征手段证明PLD法制备的ZnO薄膜主要点缺陷为Zn填隙（Znt）。