【摘 要】
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目前TFT-LCD减薄通常产用化学减薄方法。对于G5.5以上尺寸TFT-LCD,通常需要减薄前进行一次切割。切割产生的玻璃碎屑在后期物流过程中,对产品表面产生细微缺陷,该类缺陷在减
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目前TFT-LCD减薄通常产用化学减薄方法。对于G5.5以上尺寸TFT-LCD,通常需要减薄前进行一次切割。切割产生的玻璃碎屑在后期物流过程中,对产品表面产生细微缺陷,该类缺陷在减薄过程中会优先受到腐蚀,形成外观类不良。为了提升TFT-LCD减薄外观良率,往往需要通过抛光修复。抛光是对Panel施加压力进行处理的物理研磨工艺,因此抛光对TFT-LCD的抗压性存在极大挑战。随着市场对TFT-LCD显示的分辨率及轻薄化的要求持续提升,导致产品的抗压性能越来越差。TFT-LCD在抛光过程中,受到外界受压形变过,
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