相对测量法在高精度比长中的应用

来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zoujianjun
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提出了在高精度比长中采用相对测量可免除对测量苛刻要求的新方法,并用于所研制的激光干涉比较测量仪,验证了在一般计量室的条件下对100mm玻璃短标尺的检定,检定精度在±0.5μm范围内。
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