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相对测量法在高精度比长中的应用
相对测量法在高精度比长中的应用
来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zoujianjun
【摘 要】
:
提出了在高精度比长中采用相对测量可免除对测量苛刻要求的新方法,并用于所研制的激光干涉比较测量仪,验证了在一般计量室的条件下对100mm玻璃短标尺的检定,检定精度在±0.5μm范围内
【作 者】
:
罗南星
金篆芷
【出 处】
:
天津大学学报
【发表日期】
:
1995年6期
【关键词】
:
玻璃短标尺
激光干涉仪
相对测量
长度计量
比长
glass scale
laser interferometer
comparing measuremen
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提出了在高精度比长中采用相对测量可免除对测量苛刻要求的新方法,并用于所研制的激光干涉比较测量仪,验证了在一般计量室的条件下对100mm玻璃短标尺的检定,检定精度在±0.5μm范围内。
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