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Kevex SIGMA^TM能谱仪图像功能的实现
Kevex SIGMA^TM能谱仪图像功能的实现
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong571
【摘 要】
:
我们在原有的AMRAY-1000B型扫描电镜的基础上,通过改造,使它与美国Kevex公司生产的SIGMATM系列能谱仪有机地结合在一起,成为微区分析和图像处理的强有利工具.本文着重介绍其
【作 者】
:
孔明光
储昭琴
【机 构】
:
中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
能谱仪
图像功能
图像处理功能
扫描电镜
微区分析
M系列
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我们在原有的AMRAY-1000B型扫描电镜的基础上,通过改造,使它与美国Kevex公司生产的SIGMATM系列能谱仪有机地结合在一起,成为微区分析和图像处理的强有利工具.本文着重介绍其图像处理功能.
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