【摘 要】
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为确保用于薄膜椭偏参数反演计算的粒子群算法收敛于全局最优值，采用标准粒子群算法，学习参数c1和c2采用线性关系kc1＋c2=d，选取不同惯性系数叫，通过数值实验分析算法反演Si基底上S
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为确保用于薄膜椭偏参数反演计算的粒子群算法收敛于全局最优值，采用标准粒子群算法，学习参数c1和c2采用线性关系kc1＋c2=d，选取不同惯性系数叫，通过数值实验分析算法反演Si基底上SiO2薄膜光学常数的优化性能，结果表明粒子群算法的惯性系数CO取值范围在0．5～0．8之间，学习参数c1，c2配对之和不超过3，较小的c1与较大的c2相配对，可以保证用于椭偏参数反演的粒子群算法具有较好的优化性能．
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